KLA Candela® 6300系列光學表面分析儀系統基于激光的硬盤驅動器基板檢測系統，可測量整個磁盤的表面形貌，微觀粗糙度和波紋度，并檢查晶圓表面是否存在缺陷。自動化模型Candela 6340配有片盒對片盒傳輸系統。

KLA Candela® 6300系列光學表面分析儀系統利用多通道光學設計，結合激光穩定性管理技術，以及強大的光學表面測量功能，對邊緣roll-off、紋理/拋光均勻性、高密度互連的表征以及劃痕和微粒進行檢測。檢測和量測系統的光學掃描技術可在徑向和切線方向上對整個磁盤的形貌進行量測，并允許制造商使用單一的工具來測量整個空間光譜。KLA Candela® 6300系列增加了激光功率、降低了本底噪聲以及新的光學設計消除了對用于缺陷檢測的濺射玻璃基板的需求，從而可以識別<0.1Å的粗糙度變化。

功能

• 提供業界最寬的空間帶寬和優秀的本底噪聲

• 測量切向、徑向粗糙度和波紋度

• 可重復量測金屬和玻璃介質并與AFM測量結果相關聯

• 對不同尺寸的磁盤進行快速的全晶圓檢測

• 對輕微劃痕、沾污和微粒檢測具有高靈敏度

• 創新型光學表面分析(OSA)技術

• 可提供手動(6310) 或全自動(6340)

應用案例

• 粗糙度和波紋度分析

• 缺陷檢測

• 劃痕和隆起檢查

• 微粒和沾污檢測

• 微觀波紋度測量

選項

• 精密的金剛石劃線

• 離線軟件

• 大尺寸軟件許可證