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KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀

簡要描述：KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀為生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)節(jié)提供了從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維(2D)和三維(3D)測量，掃描范圍可達(dá)150毫米，無需拼接。

產(chǎn)品型號：

所屬分類：探針式輪廓儀

更新時間：2025-08-14

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

詳情介紹

KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀以市場的Tencor P-17臺式探針式輪廓儀系統(tǒng)為基礎(chǔ)。它涵蓋了P-17的優(yōu)秀測量性能，為臺式探針式輪廓儀提供了出色的性價比。KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量，掃描范圍可達(dá)150mm，無需拼接。

KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀


特征

  • 臺階高度：納米級到1000微米

  • 恒定力控制：0.03至15mg

  • 樣品的全直徑掃描，無需拼接

  • 視頻：5MP高分辨率彩色相機(jī)

  • 弧形校正：可消除探針的弧形運(yùn)動引起的誤差

  • 軟件：簡單易用的軟件界面

  • 生產(chǎn)能力：全自動測量，具有測序、圖形識別和SECS/GEM功能

KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀

應(yīng)用

  • 臺階高度：2D和3D臺階高度

  • 紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

  • 形狀：2D和3D翹曲、形狀

  • 應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力

  • 缺陷檢測：2D和3D缺陷表面形貌


       

  • KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀

工業(yè)

  • 高校、實驗室和研究所

  • 半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體

  • LED：發(fā)光二極管

  • 太陽能

  • MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)

  • 數(shù)據(jù)存儲

  • 汽車

  • 醫(yī)療器械

 

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